Study of the Pumping Performance of a Dry Scroll Vacuum Pump(Verification of Theory by Experiments)
ドライ式スクロール真空ポンプの排気特性に関する研究(実験による理論の妥当性の検討)

Shin KAMADA, Tadashi SAWADA, Wataru SUGIYAMA, Jun-ichi TAKEMOTO, Shuji HAGA, Masaru TSUCHIYA
1998 Shinku  
doi:10.3131/jvsj.41.222 fatcat:kd5jotfdnjablfcrjeoorwkbxu