Влияние природы подложки на состав пленок CdPbS и механические напряжения на интерфейсе "пленка--подложка"

Л.Н. Маскаева, А.В. Поздин, В.Ф. Марков, В.И. Воронин
2020 Журнал технической физики  
Исследована роль подложки различной природы на фазовый состав, морфологию и механические напряжения на интерфейсе "пленка---подложка" при химическом осаждении слоев CdPbS на кремнии (111), ситалле, плавленом кварце, ITO-покрытии, предметном и пористом стеклах. Высказано предположение, что выявленные особенности связаны с различными условиями зарождения и роста пленок. Установлено, что на плавленом кварце формируется однофазная пленка твердого раствора CdxPb1-xS в отличие от остальных
more » ... на которых осаждаются слои, содержащие дополнительно от 2 до 8 мол% рентгеноаморфной фазы CdS. Показано, что увеличение величины механических напряжений сжатия на интерфейсе "пленка--подложка" с -9.32 до -121.79 кН/м2 в ряду пористое стекло--предметное стекло--ситалл--кремний (111)--плавленый кварц асимбатно значениям температурных коэффициентов расширения этих подложечных материалов. Ключевые слова: химическое осаждение, тонкие пленки, твердые растворы CdxPb1-xS, механические напряжения сжатия.
doi:10.21883/ftp.2020.12.50230.9506 fatcat:qe5gsaofpfe2tbqni67jpfm2nq