PD1 レーザー干渉縞の位相速度走査により発生した弾性表面波を用いた表面欠陥の評価(ポスターセッション1-概要講演・展示)
PD1 Evaluation of surface defects using surface acoustic waves generated by phase velocity scanning of laser interference fringes

Harumichi Sato, Hideo Cho, Hideo Nishino, Hisato Ogiso, Kazushi Yamanaka
Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics  
doi:10.24492/iuse.16.0_21 fatcat:ebrzr3ecbrf6jakctlwybdtxpq