最新のマイクロアクチュエータ技術 マイクロ圧電アクチュエータ
Micro Piezoelectric Actuator

Ryuichi YOSHIDA, Yasuhiro OKAMOTO
2002 Journal of the Japan Society for Precision Engineering  
doi:10.2493/jjspe.68.645 fatcat:wk6wjxg4ibglbowg4gf3nidgte