静電型,電磁型,圧電超音波型のマイクロアクチュエータ(<小特集>最近の超音波モータの研究とその動向)
A brief review of actuation at the micro-scale using electrostatics, electromagnetics and piezoelectric ultrasonics

Daniel Kuang-Chen Liu, James Friend, Leslie Yeo, Kentaro Nakamura
2010 Acoustical Science and Technology  
doi:10.20697/jasj.66.3_114 fatcat:m67efkvhzndufeuot2zxxzfjla