Development of Inner Pressure Measurement System for Hermetic Sealed Small Components
밀폐된 소형부품의 내부압력 측정장치 개발

S.S. Hong, I.T. Lim, J.Y. Lim
2012 Applied Science and Convergence Technology  
여기에서 신뢰수준(confidence level)은 95%,   로 추정한 것이다. 결론적으로 본 실험에 의해 측정되어 계산된 시료의 내 부압력  는   =43.151 kPa±741 Pa이었다. V. 결 론 진공이나 특정압력으로 밀폐된 시료의 내부압력을 측정 하는 장치를 개발하였으며, 밀폐된 시료를 진공용기 내부 에서 깨뜨려 내부압력을 계산하였다. 실험에 사용된 시료 의 내부압력 측정결과는 43.151 kPa이었고 국제표준화기 구에서 권장한 방법에 따라 계산된 확장불확도는 741 Pa이 었다. 이 연구결과는 크기나 구조가 다른 다양한 소형 시료 를 진공용기에 넣고 내부압력을 측정하는데 유용하게 사용 될 것으로 확신한다. 참고문헌 ≪Research Paper≫ The measurement device of internal pressures of small components sealed hermetically was developed. The internal
more » ... . The internal pressure of a sample measured with this device was 43.151 kPa, and the expanded uncertainty (  ) was 741 Pa. The resultant measurement ability of internal pressures in small vacuum components, which had been almost impossible previously, shows the possibility of internal vacuum detection of hermetically sealed parts.
doi:10.5757/jkvs.2012.21.1.1 fatcat:yftywan265aq7oi3f5yxbotgia