年度(第 9 回)精密工学会論文賞 3 波長ワンショット干渉計測によるインクジェット方式カラーフィルタの膜厚測定 精密工学会誌 78 巻 1 号(78-1) ,pp. 86-91 本論文は,3 波長ワンショット干渉法をインクジェット方式カラーフィルタの膜厚測定法に適用し,ナノメートル・オ ーダーの測定再現性を実証している.さらに,独自の多波長バンドパスフィルタを用いた高輝度 3 波長照明や位相計算ア ルゴリズムを導入し,画素あたり 1 μs という高速な自動膜厚測定装置を開発した.その成果は工業的実用性が高く,精密 工学の発展に寄与するところ大と認められ,論文賞にふさわしいと判断した.