Low-energy cluster beam deposition : do you need it ?

P. Mélinon, G. Fuchs, B. Cabaud, A. Hoareau, P. Jensen, V. Paillard, M. Treilleux
1993 Journal de Physique I  
doi:10.1051/jp1:1993202 fatcat:2tt4siddtzhu7do6mbv3yt6hsy