A copy of this work was available on the public web and has been preserved in the Wayback Machine. The capture dates from 2019; you can also visit the original URL.
The file type is application/pdf.
Влияние химической подготовки поверхности кремния на качество и структуру эпитаксиальных пленок карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов
2018
Журнал технической физики
Preserved Fulltext
