PERANCANGAN ULANG MAGNET PENGANALISIS PADA IMPLANTOR ION DENGAN SIMULATOR SUPERFISH DAN OPERA-3D

Silakhuddin Taufik, Teknologi Pusat, Proses Akselerator, Bahan, Jl Batan, Kotak Babarsari, Pos, Yogyakarta
2012 J. Iptek Nuklir Ganendra   unpublished
ABSTRAK PERANCANGAN ULANG MAGNET PENGANALISIS PADA IMPLANTOR ION DENGAN SIMULATOR SUPERFISH dan OPERA-3D. Telah dilakukan perancangan ulang magnet penganalisis pada implantor ion. Agar ion yang diimplantasikan pada suatu target adalah ion tunggal maka diperlukan magnet penganalisis. magnet penganalisis dapat memisahkan ion-ion pengotor dari berkas ion yang dipercepat sehingga dihasilkan ion tunggal. Implantor ion di PTAPB telah dilengkapi dengan magnet penganalisis, tetapi masalahnya adalah
more » ... salahnya adalah data desain detilnya belum ada dan belum berfungsi secara optimal sehingga akan menghambat untuk keperluan perawatan dan pengembangan. Tujuan dari kegiatan ini adalah untuk memperoleh data teknis magnet penganalisis dan melakukan optimasi desain. Untuk mencapai tujuan tersebut, kegiatan diawali dengan mencari pustaka yang berhubungan dengan magnet penganalisis, melakukan perhitungan detil dengan mempertimbangkan parameter yang telah ada, simulasi terhadap desain yang telah dibuat, penentuan parameter desain dan optimasi dari desain yang telah ada. Dari kegiatan ini dapat diperoleh dokumen desain detil magnet penganalisis untuk energi partikel 150 keV dengan sudut pembelokan 60 o serta kemampuan memisahkan partikel dengan m/z = 8 amu. Sedangkan optimasi dari desain sebelumnya dapat dilakukan dengan mengubah bentuk inti magnet tipe C menjadi tipe H, mengubah bentuk kutub magnet menjadi segi empat dengan posisi berkas yang masuk membentuk sudut  positif dan lebih condong ke tepi kutub magnet. Kata kunci : implantor ion, magnet penganalisis, desain detil, optimasi ABSTRACT REDESIGN OF ANALYZER MAGNET ON ION IMPLANTER USING SUPERFISH and OPERA-3D SIMULATOR. Redesign of analyzer magnet on ion implanter using superfish and opera-3D simulator has been done. In order for the implanted ions on a target is a single ion a magnetic analyzer is needed. The magnetic analyzer can separate some impurity ions from accelerated ion beams to produce a single ion beams. Ion implanter in PTAPB has been equipped with a magnetic analyzer, but the design details data were not available and the functions still were not optimal so that it will hamper for maintenance and development. The purpose of this activity is to obtain a document containing technical information and to optimize a magnetic analyzer design. To achieve these objectives, the activities initiated by searching for references related to the magnetic analyzer, perform detailed calculation with considering the existing parameters, simulation of the design that has been made, determination of design parameters and optimization of the designs. From this activity can be obtained a detailed design document of magnetic analyzer for 150 keV particle energy with 60 bending angle and the ability to separate particles with m / z = 8 amu. While the optimization of the previous design can be done by changing the shape of C-type magnetic core into H type, change the shape of the magnetic pole into a square with the position of incoming beam makes a positive  angle and inclined to the edge of the magnetic poles. PENDAHULUAN emanfaatan implantor ion untuk rekayasa material sudah banyak digunakan dan manfaatnya dapat dirasakan dewasa ini. Implator ion merupakan alat untuk mengimplantasikan ion dopan pada material target sehingga diperoleh karakteristik yang berbeda dari sebelummnya. Salah satu komponen pada implantor ion adalah magnet penganalisis/pemisah (1). Magnet pemisah berfungsi untuk memisahkan ion dopan dari ion-ion lainnya yang tidak diinginkan sehingga ion dopan yang akan diimplantasikan pada material target merupakan ion tunggal. Saat ini PTAPB memiliki implantor ion yang dibuat sendiri dan telah dilengkapi dengan magnet pemisah. Akan tetapi magnet pemisah tersebut belum memiliki data desain detilnya dan saat ini tidak dapat difungsikan P
fatcat:36q4fbaqsra5javc5vecrvyzka