Durch die Entwicklung von Abformverfahren zur Herstellung von Mikrostrukturbauteilen wird ein Potential zur wirtschaftlichen Herstellung von fluidischen Mikroreaktorsystemen aus Kunststoffen und Gläsern in großen Stückzahlen eröffnet. Am Beginn der Prozesskette für die abformenden Serienverfahren steht jedoch die Herstellung von Abformwerkzeugen sowie Prototypen bzw. Vorserienmodellen, die vorzugsweise durch spanende und abtragende Mikrostrukturierungsverfahren realisiert werden. Prozesskette

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... krofertigung am FhG IWU Neben den klassischen maskenbasierten Fertigungsverfahren der Siliziumtechnik kommen zunehmend alternative Fertigungsverfahren für die Mikrobearbeitung zum Einsatz. Dazu zu zählen auf Seiten der abtragenden Verfahren vor allem die Mikrofunkenerosion (EDM), die Mikrolaserbearbeitung sowie die Verfahren der Mikrozerspanung mit geometrisch bestimmter Schneide wie Bohren, Drehen und Fräsen. Zur wirtschaftlichen Herstellung in Serie sind abformende Verfahren unabdingbar. Die in Abbildung 1 dargestellte Prozesskette Mikrostrukturierungsverfahren zeigt die vielfältigen Möglichkeiten und Wege zur Erzeugung eines Mikrostrukturbauteiles, verdeutlicht gleichzeitig aber auch die Komplexität und den Aufwand, der für die Fertigung dieser Bauteile erforderlich ist.