CVD-TiC_<1-x>N_xの結晶成長 : 気相成長

峰岸 知弘, 寺島 慶一, 関稔
1978 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth  
doi:10.19009/jjacg.5.3_40 fatcat:wwb2ilfk3zc6rk4qb3rxy6ayja