Preparation of TiO2 Thin Films Using Atmospheric Pressure Plasma Jet
大気圧プラズマを用いた酸化チタン薄膜調製の試み

柏 典優, 石丸 智士
doi:10.11527/jceeek.2019.0_173 fatcat:l4vo2wcnbbgc7hv5ohmmgp2mfq