THIN-FILM SENSOR ON BASIS ZnO

V. I. Lazorenko, M. E. Bugayov, G. V. Lashkarev, A. V. Borisov, V. M. Koval, A. N. Shmyreva
2014 Sensor Electronics and Microsystem Technologies  
Àíîòàö³ÿ ÒÎÍÊÎÏ˲ÂÊÎÂÈÉ ÑÅÍÑÎÐ ÍÀ ÎÑÍβ ZnO Â. É. Ëàçîðåíêî, Ì. Å. Áóãàéîâà, Ã. Â. Ëàøêàðüîâ, À. Â. Áîðèñîâ, Â. Ì. Êîâàëü, Î. Ì. Øìèðüîâà Ãàçîâà ñåíñîðèêà º îäí³ºþ ç òèõ ãàëóçåé åëåêòðîí³êè, ùî îñòàíí³ì ÷àñîì íàéá³ëüø äè-íàì³÷íî ðîçâèâàºòüñÿ. Ïîòðåáà â ðîçðîáö³ ãàçîâèõ ñåíñîð³â îáóìîâëåíà íåîáõ³äí³ñòþ êîíòðîëþ åêîëîã³÷íîãî ñòàíó îòî÷óþ÷îãî ñåðåäîâèùà òà çàáåçïå÷åííÿ áåçïåêè aeèòòºä³ÿëüíîñò³ ëþäèíè. Íàï³âïðîâ³äíèêîâ³ ñåíñîðè º íàéá³ëüø ïåðñïåêòèâíèìè ãàçîâèìè ñåíñîðàìè, îñê³ëüêè âîíè ìàþòü ìàë³
more » ... ì³ðè, ïðîñòó êîíñòðóêö³þ, ìàëå ñïîaeèâàííÿ åëåêòðîåíåð㳿, âèãîòîâëÿþòüñÿ çà ãðóïîâîþ òåõíîëî㳺þ ì³êðîåëåêòðîí³êè, ùî çàáåçïå÷óº ¿õ ïîð³âíÿíî íèçüêó âàðò³ñòü òà ñóì³ñí³ñòü ç åëåêòðîííèìè ïðèëàäàìè äëÿ ïîäàëüøî¿ îáðîáêè ñèãíàë³â. Îáëàñòü âèêîðèñòàííÿ ãàçîâèõ ñåíñîð³â, ùî ðåàãóþòü íà ïàðè ñïèðòó, çàëåaeèòü â³ä âè-ì³ðþâàíèõ êîíöåíòðàö³é. Òàê, â îáëàñò³ íèçüêèõ êîíöåíòðàö³é (ïîðÿäêó ê³ëüêîõ ppm) òàê³ ñåíñîðè çàñòîñîâóþòüñÿ äëÿ àíàë³çó âì³ñòó àëêîãîëþ ó ïîäèõó ëþäèíè. Òîä³ ÿê ñåíñîðè, ÿê³ ïðàöþþòü â îáëàñò³ âèñîêèõ êîíöåíòðàö³é, ïîòð³áí³ äëÿ êîíòðîëþ á³îòåõíîëîã³÷íèõ ïðîöå-ñ³â ïðè âèãîòîâëåíí³ ñïèðòíèõ íàïî¿â ó õàð÷îâ³é ïðîìèñëîâîñò³. ðîáîò³ äîñë³äaeåíî ÷óòëèâ³ñòü òîíêîïë³âêîâèõ ãàçîâèõ ñåíñîð³â ðåçèñòèâíîãî òèïó íà îñíîâ³ îêñèäó öèíêó äî ïàð³â åòèëîâîãî ñïèðòó. Âèâ÷åíî çì³íó îïîðó ãàçî÷óòëèâî¿ ïë³âêè ïðè 䳿 ãàçó. ßêùî ñåíñîð, ãàçî÷óòëèâèì åëåìåíòîì ÿêîãî º íàï³âïðîâ³äíèêîâà ïë³âêà n-òèïó (ZnO), ï³äëÿãຠâïëèâó ïàðó åòèëîâîãî ñïèðòó, îï³ð ÷óòëèâîãî åëåìåíòà çìåíøóºòüñÿ. Âñòàíîâëåíî âïëèâ ëåãóâàííÿ íà âåëè÷èíó ÷óòëèâîñò³ ãàçîâîãî ñåíñîðà. Äîì³øêè Al òà In ïîêðàùóþòü ÷óòëèâ³ñòü òîíêîïë³âêîâîãî ñåíñîðà íà îñíîâ³ ZnO. Îáãîâîðþþòüñÿ ìåõàí³çìè ÷óòëèâîñò³ ñåíñîðà íà îñíîâ³ ïë³âêè ZnO äî ïàð³â åòàíîëó òà âïëèâó äîì³øîê íà éîãî ÷óòëèâ³ñòü.
doi:10.18524/1815-7459.2006.3.112585 fatcat:6aojeomx55gdpnw3tucozps6c4