Externe elektrische Netzwerke, beispielsweise Impedanzanpassungen oder Generatoren, sind notwendig, damit Hochfrequenzplasmen betrieben werden können. Verschiedene experimentelle Untersuchungen zeigen, dass die Plasmaentladung mit dem externen Kreis auf nichtlineare Art wechselwirkt. Die meisten Plasmasimulationen ignorieren diese Effekte jedoch, oder vereinfachen das externe Netzwerk erheblich, da eine vollständige Integration mit bisherigen Methoden sehr aufwändig ist. In dieser Arbeit werden

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... verschiedene Ansätze vorgestellt, mit der die Interaktion der Systeme anwenderfreundlich simuliert werden kann. Darüber hinaus wird ein neuartiges Netzwerk für die Impedanzanpassung bei mehreren Anregungsfrequenzen entwickelt und dessen Funktionsfähigkeit mit den neuartigen Simulationsmethoden demonstriert.