Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO 2 : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см 2 . Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO 2 : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом

more »

... ного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2 · 10 −3 Ом · см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см 2 , температуре подложки 300 • C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр.