요 약 본 연구에서는 LCD 생산라인에서 장기적으로 정체상태에 있는 모듈의 수율을 높이고, 현재 TFT-LCD 생산 공정에 필수적인 고압의 실리콘주입 장비 및 정밀 제어시스템을 개발하였다. 본 개발을 통하여 향후 본격생산을 준비 중인 차세대 디스플레이 생산라인뿐만 아니라 중국으로 이전중인 LCD 생산 설비의 라인 환경에서 장비의 효율을 최 대한 발휘함으로써 신규 투자비용을 최소화하고 최대의 효과를 창출할 수 있도록 세부 동작 시퀀스를 제어하기 위한 H/W와 S/W 시스템을 생산라인에 실장하였다. 또한, Fast-evacuating을 위한 Vacuum pump 구조를 제안하고 Pump control 회로 설계 및 실험을 통해 제품화하였다. Abstract In this study, the yield of the modules in LCD production lines, improving current TFT-LCD production process is essential for

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... h-pressure silicone injection equipment, and precision control system was developed. This full-scale production of the future through the development of next-generation display production line is being prepared, being transferred to China in LCD production facilities can make the most of efficient equipment. Therefore, minimize the cost of new investment and help create the maximum effect to control the detailed behavior of the sequence H/W and S/W system was installed on the production line. In addition, Fast-evacuating the structure proposed for the Vacuum pump, Pump control circuit design and experimental results has been completed.