Schlagwörter: Rauheit, Streuung, Oberflächen-Meßtechnik, Profilometrie, optische Sensoren Es werden moderne optische Verfahren zur beriihrungslosen Oberjlächentopographie und Rauheirsmessung beschrieben und ihre Leistungsfähigkeit anhandneuerer Messungen und Analysen diskutiert. Dabei werden zwei Verfahren der Mikroprofilomelrie. eine schnelle 3-D-Darstellung der Oberjlächentopographie mit automatischer Interferenzslreijenauswertung. kohärente StreuIJerfahren und ein integrales

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... zlJerfahren ausführlich behandelt. Außerdem werden eine neue Doppelpaß.Slrahlenjührung und Ausdrücke für die Erfassung der Lateralaujläsung in Abhängigkeit von der numerischen Apertur und dem Aus/euchlungsverhältnis angegeben. Recent optical techniques for mierotopography and roughness measurements are examined. particularly two methods for high-resolution mieroprojilomelry. a fast 3-dimensional representalion of the topography by automored interferogram analysis. coherent seal/ering methods ami 0 white light coherence me/hodfor integral roughness measuremenl. In addition a double-pass scheme for profilomelrY and some expressions for lateral resolution in terms of numerieal aperture and aperture rario are introduced.