A légcsillapítás hatása mikrokapcsoló kapcsolási idejére

Ádám Kovács
2004 Fiatal Műszakiak Tudományos Ülésszaka  
Switch-off time of a micromachined capacitive microswitch is commonly estimated by the quarter of the period corresponding to the lowest eigenfrequency of the vibrating membrane. It has been calculated by a quasianalytical method taken intő account the damping effect of a squeeze-film between the two plates of the capacitor. Several damping models are known to define an equivalent damping paraméter. These models, however, lead to very different responses. The comparison of the methods shows
more » ... most of them are appropriate only in a narrow dimension interval. Nevertheless, damping affects mainly on the amplitude decay, therefore, they hardly modify the estimated switch-off time. Mikroforgácsolt kapacitív mikrokapcsoló kapcsolási idejét, általánosan elfogadott módon, a rezgő membrán legkisebb sajátfrekvenciájához tartozó lengésidő negyedével becsüljük. Ezt kvázi-analitikus módszerrrel számítottuk a kondenzátor két lemeze közötti vékony légréteg csillapító hatásának figyelembevételével. Számos modell ismeretes a légcsillapítást jelmmező csillapítási paraméter meghatározására. Ezek a modellek azonban nagyon eltérő eredményre vezetnek. A módszerek összehasonlítása azt mutatja, hogy legtöbbjük csak egy szűk méret-tartományban alkalmazható. Ugyanakkor a csillapítás elsődlegesen az amplitúdót csökkenti s ezért alig van hatással a kapcsolási időre.
doi:10.36243/fmtu-2004.06 fatcat:xdmfe3ckyvasfarmw6i2urbdgu