Micromachining. Trends of assembly technique and microprocessing. Silicon process and application
マイクロマシン マイクロ加工および組立技術の動向 シリコンプロセスとその応用

ESASHI M
1995 BME  
doi:10.11239/jsmbe1987.9.8_3 fatcat:zizkdokajzcp3jfp53rf2kmyl4