A copy of this work was available on the public web and has been preserved in the Wayback Machine. The capture dates from 2022; you can also visit the original URL.
The file type is application/pdf
.
Micromachining. Trends of assembly technique and microprocessing. Silicon process and application
マイクロマシン マイクロ加工および組立技術の動向 シリコンプロセスとその応用
1995
BME
マイクロマシン マイクロ加工および組立技術の動向 シリコンプロセスとその応用