Аннотация. В настоящей работе рассмотрено применение наномаркировки для позиционирования зонда в сканирующей зондовой микроскопии. Особенностью представленных исследований является то, что они выполнены на высокоориентированном пиролитическом графите, широко используемом в качестве подложки для наноструктур. Для маркировки использовался наноиндентор Берковича и нанотвердомер Nanotest-600. Предварительные исследования показали, что при нанесении маркировки некоторые отпечатки могут иметь

more »

... ные геометрические размеры. Показано, что на поверхности пирографита могут присутствовать локальные зоны повышенной и пониженной твердости, сравнимые с размерами отпечатков. Приведены детальные изображения отпечатков, полученных в различных зонах подложки. Установлено, что возможно появление отпечатков со значительным вспучиванием материала. Построены характеристики нагрузка-разгрузка в зоне с неустойчивыми отпечатками. Описано влияние вспучивания и отслоений материала на характеристики нагрузка-разгрузка и глубину отпечатка. Показано, что несколько циклов нагрузка-разгрузка позволяют повысить отчетливость отпечатка. Выполнены сравнительные исследования маркировки, полученной однократным и многократным индентированием в каждой точке. Профилометрия отпечатков, выполненная с помощью сканирующего зондового микроскопа, показала большую площадь и глубину отпечатков, полученных многократным индентированием.