メカニカルリソグラフィ ナノインプリンティング技術の情報記憶装置への応用
Application of Nano-lmprinting Technology for Recording Devices

Hiroshi IWAMITSU
2004 Journal of the Japan Society for Precision Engineering  
doi:10.2493/jjspe.70.1232 fatcat:zmn5rk6smbgihcuyotlly7fsqe