Поступило в Редакцию 28 марта 2019 г. В окончательной редакции 28 марта 2019 г. Принято к публикации 15 апреля 2019 г. Предложен метод определения электрофизических характеристик полупроводников (концентрации и подвижности свободных носителей заряда, удельной проводимости) по данным измерений микроволнового спектра импеданса коаксиального зонда как функции приложенного постоянного напряжения U. Искомые параметры найдены путем решения соответствующей обратной задачи с использованием

more »

... ранее теории ближнепольной антенны. Создана компьютерная программа, осуществляющая поиск решения путем минимизации многопараметрической функции невязки по алгоритму Нелдера-Мида. Точность метода проанализирована по результатам моделирования, в котором импеданс предварительно вычислен с учетом полученного профиля концентрации n(x, U) обедненного слоя в окрестности контакта металлполупроводник. Продемонстрирована возможность диагностики с микронным латеральным разрешением. Ключевые слова: микроволны, зондовая микроскопия, импеданс, полупроводник.