PB1 水熱合成法におけるPZT薄膜成膜の生成過程プロセスの改良(ポスターセッション1)
PB1 Development of hydrothermal method to deposit PZT thin film

Takeshi Morita, Takefumi Kanda, Minoru Kurosawa, Toshiro Higuchi, Yutaka Yamagata, Nobuhisa Nishioki, Shinichirou Mihara
Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics  
doi:10.24492/iuse.17.0_43 fatcat:3zj7l4jj7bh4ri6arvbkcn4ama