@article{miyauchi_sano_higashimine_mizutani_2006, 
  title={30aPS-38 紫外光照射によるSiのダメージ領域の物性評価(30aPS 領域9ポスターセッション(表面,界面,結晶成長),領域9(表面・界面,結晶成長))}, 
  volume={61.1.4}, 
  DOI={10.11316/jpsgaiyo.61.1.4.0_903_2}, 
  number={0}, 
  publisher={The Physical Society of Japan}, 
  author={Miyauchi, Y. and Sano, H. and Higashimine, K. and Mizutani, G.}, 
  year={2006}
  }