Nagao, K., Masui, E., Maruyama, T., Nishimura, K., Yamada, T., n.d.. D-1 反応性スパッタ法による窒化アルミニウム薄膜の作製とその特性(バルク波・表面波デバイス) 25.. https://doi.org/10.24492/use.25.0_149